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对硅片传输机器人手臂进行实体建模,用OptiStruct对手臂进行模态分析,然后对其进行拓扑优化,并计算出新手臂的结构,建立新的模型,最后对新的手臂进行模态分析。结果表明,新结构的手臂更省材料,最小固有频率变化不大,实现了减材的目的,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输。 相似文献
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为了减小并联机构中构件的柔性变形以及振动对系统运动精度的影响,以并联机构的柔性杆件为分析对象,通过Pro/E软件对杆件的三维建模到ADAMS振型分析,再对所建模型进行动态特性进行研究。结果表明,在这些杆件中受力的同时方式不同所需恢复平稳的时间也不同,同时最大应力发生在杆件横截面积突变的位置,这样就为设计者提供了理论参考依据。基于对并联机构柔性杆件的分析研究,为并联机构的动态特性和误差分析的进一步研究提供了参考。 相似文献
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针对车辆前方障碍物准确检测的需求,提出了一种基于单目摄像头的车辆前方障碍物的检测系统.通过单目摄像头对视频进行采集,获取单帧图像信息.通过在ROI区域内对道路上的障碍物进行检测,能够最大程度缩小检测范围,加快了运算效率.通过基于遗传算法的二维最大熵分割法分理出背景和障碍物,形态学算法去除其区域内的干扰物以及孤立点,最后... 相似文献
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为了实现夹持状态下晶片旋转,减少生产过程中夹持次数,降低因多次夹持对晶圆表面损伤的可能,提高生产效率,提出一种利用空气动力学原理的晶圆夹持方法。在柱形半密闭空间内以特定位置、特定角度通入高压气体,产生局部真空区域,通过晶柱形空间产生的负压力实现吸附。对空间内的气流进行理论分析,选取双入口、入口与壁面相切的进气方式,建立单个半封闭空间吸取模型,并利用Relizable k-ε湍流模型对气流流动状况、压力分布等进行数值模拟。分析了稳定状态下,晶圆与叉手上端面距离对晶圆受力的影响,为生产中叉手实际吸取晶圆提供理论依据。 相似文献
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为了实现晶圆片快速稳定传输,通过拓扑优化设计了新的机器人末端执行器结构。首先,利用三维UG软件对晶圆传输机器人末端执行器进行实体建模;采用ANSYS对末端执行器进行静力学仿真,并对仿真结果进行分析,对其进行拓扑优化,计算出新的末端执行器结构,建立新的模型;最后,用ANSYS对新的末端执行器分别进行静力学仿真和动力学模态仿真,验证了此机械结构具有合理性。结果表明,新结构的末端执行器更省材料,形变、应力变化不大,固有频率符合要求,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输。 相似文献
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针对工业生产手机屏幕中的裂纹缺陷问题,提出了一种基于图像处理的手机裂纹缺陷检测方法,通过工业CCD相机采集图像,获得手机屏幕缺陷图像,运用图像预处理,边缘增强,图像分割的图像算法得到二值图像,对裂纹缺陷进行特征分析。最后去除瑕疵干扰,并与标准模板匹配,得到缺陷,并由缺陷特征分析得出裂纹缺陷。实验结果表明,这种检测方法速度快,检测精度高。 相似文献
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