| 原子力显微镜对TiN薄膜的分析研究 |
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| 引用本文： | 杨惠,王振林,唐丽文,黄伟.原子力显微镜对TiN薄膜的分析研究[J].西南大学学报,2010,32(9). |
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| 作者姓名： | 杨惠 王振林 唐丽文 黄伟 |
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| 作者单位： | 杨惠,王振林,唐丽文,YANG Hui,WANG Zhen-lin,TANG Wen-li(重庆工学院,材料科学与工程学院,重庆,400050);黄伟,HUANG Wei(重庆工业职业技术学院,重庆,400050) |
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| 基金项目： | 重庆市教育委员会资助项目，重庆市科技攻关重大项目 |
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| 摘 要： | 主要论述了一种高精度的原子力显微镜AFM.IPC-208B型机在分子形态学方面的应用研究.以磁控溅射获得的TiN薄膜为例,从原子力显微镜测得的三维图上探析该TiN薄膜的优先生长面及其在优先生长面上的原子排布.实验不仅鉴定了测试材料的微观形态,也充分肯定了该原子力显微镜原子量级的精度及其在微观结构领域的潜在发展,为该机应用于微加工领域奠定了基础.
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 TiN薄膜 微观结构 |
Analysis of the Micro-structure of TiN Film with Atomic Force Microscopy (AFM) |
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| YANG Hui,WANG Zhen-lin,TANG Wen-li,HUANG Wei.Analysis of the Micro-structure of TiN Film with Atomic Force Microscopy (AFM)[J].Journal of Southwest Agricultural University,2010,32(9). |
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| Authors: | YANG Hui WANG Zhen-lin TANG Wen-li HUANG Wei |
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