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磁控溅射法薄木镀膜金属工艺参数的遴选
引用本文:常德龙,谢青,胡伟华,黄文豪,张云岭.磁控溅射法薄木镀膜金属工艺参数的遴选[J].东北林业大学学报,2016(6):75-78.
作者姓名:常德龙  谢青  胡伟华  黄文豪  张云岭
作者单位:国家林业局泡桐研究开发中心,郑州,45003
基金项目:林业公益性行业科研专项(201204705)
摘    要:为获得高品质抗电磁辐射木材,采用正交试验设计L_(27)(3~(13)),真空磁控溅射镀膜,试验分析了封闭剂、真空度、镀膜温度、镀膜时间及交互作用等因素对镀膜质量的影响。结果表明:桐木单板应用MF3封闭剂(固体质量分数为50%的三聚氰胺甲醛树脂及内含溶液质量分数1%KH-560硅烷偶联剂,添加5%(按质量计)的异佛尔酮二异氰酸酯组成)、真空室的真空度10~(-2)~10~(-4)MPa、靶材温度200℃、溅射时间100 s条件下,工艺效果最为理想。经电磁屏蔽效能检测,镀膜厚度达到30μm以上时,在30 MHz~1.5 GHZ频段之间,电磁屏蔽效能达到30~60 d B中等屏蔽效能等级,镀膜单板屏蔽效能随着电磁波频率的提高呈缓慢下降之势。镀膜木材在高温、高湿条件下老化强度有微弱下降,但对镀膜与薄木的结合无影响。镀膜后的薄木可用于高端电磁屏蔽、导静电装饰性木材产品的开发。

关 键 词:桐木  薄木镀膜金属  镀膜金属工艺  磁控溅射法

Wood with Metal Film of Titanium-nickel Magnetron-sputtered
Abstract:
Keywords:Paulownia wood  Wood slice with film metal  Metal film  Magnetron sputtering
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