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微观表面形貌检测方法及其发展
引用本文:夏阳,黄进凡.微观表面形貌检测方法及其发展[J].湖北农机化,2014(3):55-58.
作者姓名:夏阳  黄进凡
作者单位:湖北工业大学机械工程学院
摘    要:零件表面的微观几何形貌在很大程度上影响着它的使用性能。本文论述了微观表面形貌检测方法的发展历史,分析了接触式和非接触式测量表面形貌的特点,重点阐述了常见的光学测量方法,并对其进行了比较。并重点分析了光学干涉法、触针法的基本特点。

关 键 词:微观表面形貌  非接触测量  接触式测量  干涉法
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