微观表面形貌检测方法及其发展 |
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引用本文: | 夏阳,黄进凡.微观表面形貌检测方法及其发展[J].湖北农机化,2014(3):55-58. |
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作者姓名: | 夏阳 黄进凡 |
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作者单位: | 湖北工业大学机械工程学院 |
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摘 要: | 零件表面的微观几何形貌在很大程度上影响着它的使用性能。本文论述了微观表面形貌检测方法的发展历史,分析了接触式和非接触式测量表面形貌的特点,重点阐述了常见的光学测量方法,并对其进行了比较。并重点分析了光学干涉法、触针法的基本特点。
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关 键 词: | 微观表面形貌 非接触测量 接触式测量 干涉法 |
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