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| 化学机械抛光在MEMS中的应用 | |
| 引用本文： | 张小小,傅四海,欧蔼新.化学机械抛光在MEMS中的应用[J].南方农机,2016(10). |
| 作者姓名： | 张小小 傅四海 欧蔼新 |
| 作者单位： | 沈阳理工大学,辽宁 沈阳,110159 |
| 摘 要： | 本文以化学机械抛光技术的含义、特点为切入点,就其在MEMS系统中的具体应用方法,进行细致的探讨研究,期望为普及、推广化学机械抛光技术、提升MEMS超精密加工的精度与质量,提供有益的参考。 |
| 关 键 词： | 化学机械抛光 MEMS 应用 |
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